CO2Clean

CO2Clean 表面清洗

CO2Clean清洗槍可製造出柔軟細小的乾冰顆粒，在清洗表面過程會直接滲透臨界層甚至破壞臨界層，故CO2Clean清洗的效果遠比氮氣或空氣好的多。

當柔軟乾冰顆粒撞擊表面時，經由CO2Clean特殊設計的噴嘴，產生具有溶解效果的二氧化碳可清除有機髒污。

對於易碎或鍍上精密的薄膜表面，CO2Clean的柔軟乾冰顆粒是不會造成刮傷或剝離的現象，即使像晶圓的積體電路也不會損害。

如上圖示CO2Clean清洗槍可清除紅色油性髒污，而不會 破壞表面。

當CO2Clean清洗槍產生柔軟乾冰顆，利用動能轉換的方式，當能量超過表面的黏著力或凡得瓦爾力時，污染的顆粒立即會被移除離開表面。

在清洗精密的電子物件時，會擔心是否有傳導性的問題，而從二氧化碳的物性可了解它本身是不具傳導性的。而二氧化碳可移除清洗各式大小尺寸髒污顆粒，小到約0.1~0.03微米的顆粒。.